RECUPERAÇÃO DE ÁGUA DEIONIZADA NA INDÚSTRIA DE SEMICONDUTORES

Autores

  • William Todendi Dutra PPGEM - Universidade do Vale do Rio dos Sinos – UNISINOS https://orcid.org/0000-0002-5268-3355
  • Anderson Stumpf Silva dos Reis Graduando Engenharia Ambiental - Universidade do Vale do Rio dos Sinos – UNISINOS
  • Giovanni Pesenti HT Micron Semicondutores
  • Feliciane Andrade Brehm PPGEC - Universidade do Vale do Rio dos Sinos – UNISINOS https://orcid.org/0000-0002-3272-5837
  • Carlos Alberto Mendes Moraes PPGEM- Universidade do Vale do Rio dos Sinos – UNISINOS https://orcid.org/0000-0001-7295-2826

DOI:

https://doi.org/10.9771/gesta.v0i1.52071

Palavras-chave:

semicondutores, produção mais limpa, água, recuperação, reciclagem interna

Resumo

As indústrias de semicondutores consomem água de altíssima pureza em abundância. Esta água é chamada de Água DI (deionizada), e possui um alto custo de produção devido às diversas etapas necessárias para atingir os parâmetros de utilização. Um dos processos que utilizam este fluido é o lixamento traseiro de wafers de silício (backside grinding ou BSG), correspondendo sozinho a quase um terço do consumo de toda a fábrica. No processo BSG são incorporados sólidos provenientes dos wafers e dos abrasivos, sendo que os compostos que constituem estas matérias primas, são praticamente insolúveis em água, minimizando a contaminação desta e facilitando etapas de segregação e limpeza. Deste modo, o trabalho propôs realizar o tratamento do efluente do processo BSG de forma puramente física, sem utilizar produtos químicos, o que contribui para o condicionamento visando o retorno direto desta água tratada no processo BSG, de modo que seja aplicado o nível 2 da Produção Mais Limpa com a reciclagem interna. O tratamento proposto no trabalho tem um grande potencial de aplicabilidade na reciclagem interna da água presente no efluente do processo de lixamento traseiro de wafers de silício da indústria de semicondutores, permitindo sua reinserção no processo, de modo a se obter ganhos econômicos, sociais e ambientais após a implementação deste.

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Publicado

2024-08-01

Como Citar

Todendi Dutra, W., Stumpf Silva dos Reis, A. ., Pesenti, G., Andrade Brehm, F., & Mendes Moraes, C. A. (2024). RECUPERAÇÃO DE ÁGUA DEIONIZADA NA INDÚSTRIA DE SEMICONDUTORES. Revista Eletrônica De Gestão E Tecnologias Ambientais, 12(1). https://doi.org/10.9771/gesta.v0i1.52071

Edição

V.12, N.1 (2024)

Seção

Artigos Originais

Licença

Copyright (c) 2024 Revista Eletrônica de Gestão e Tecnologias Ambientais

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